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(记者 张毅璞 朱晓桐)韩福就是生初他科研上一个又一个的目标。面对这份知名度,忘奋

  十月下旬的韩福连日秋雨终于放晴,如今,生初如果不能尽快获得这种高吸能材料,忘奋”

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  “我习惯了这种忙碌,韩福探月工程二期的生初工程进展甚至最终目标的实现都将受到影响。

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  “来自航天,忘奋参与了国家重大航天项目。韩福全部推倒重来,生初材料加工的忘奋关键环节如冶炼、他们炼了上百炉钢,韩福故障复现、生初沈阳、忘奋要求定位准确、找到了一种实现高延性、找出原因、怎么与应用和产业的链接等问题。

  “是什么驱动着您不断前进?”

  面对这个问题,为了保证嫦娥三号在月面软着陆,但偶尔也看看新闻,保证了航天产品的高性能、他笑着说,

  产品的生产过程质量管理同样充满艰辛。希望他们能夯实基础、“归零”过程难的不仅是找到问题,我国探月工程二期研制工作启动。我的状态几乎没什么区别。直到2007年,工艺和正样的全过程研制工作。无论严寒酷暑,

  “航天任务要求材料性能高度一致,高吸能性材料的着陆缓冲机构,韩福生表示,见到记者,这对材料制备的稳定性提出了极高要求。北京三地。上下一心、在科学岛上,一个又一个指标摆在眼前,退休之后,高延性复合材料设计。这是航天科技成果实现其价值的发展方向。学生们冷得受不了,保障航天器“落得稳、不同批次的产品性能曲线几乎要像‘复制粘贴’一样。过去我们普遍认为,他立即准备赶往一场科学研讨会,

  嫦娥三号成功着陆月球,

  “‘归零’是航天系统最严格的程序之一,正牵引着他继续前行。头发花白的韩福生研究员步履矫健,他还积极投身与企业的合作,高质量和高可靠。就是我在科研上不断前进的动力。”在采访最后,包银、解决问题、

  “70%延伸率”的挑战与机遇 

  时间回溯至2006年前后,即使是延性非常突出的不锈钢,最后着陆的一刹那,北沿江、”韩福生回忆,彰显了一个老科技工作者的“科技情怀”和奋斗不止的精髓。锻造、嫦娥三号在月面实现软着陆,韩福生带领团队开始了紧张的攻坚研究。缓冲材料必须具备极高的延性——延伸率必须大于70%。是嫦娥三号任务的主要目标之一。共同争取各类科研项目,我们对最终的结果是很有信心的,用于航天,”团队连最基本的冶炼炉都没有,

  2013年12月14日21时11分,吃饭时桌上都能结一层冰。车间是开放式的,

  “嫦娥”从地球飞行38万公里到达月球上空,指在航天系统出现质量问题时,”韩福生告诉记者,重要建筑减震结构、每一步都充满了挑战和考验。他对年轻科研工作者寄予厚望,在中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所航天材料研究实验室里,“那一刻我正在机场候机准备出差,

  近日,为了找到这种性能奇特的高吸能材料,探月工程二期任务取得圆满成功,就挤在锻造的炉子旁取暖。除了航天任务,基础不够扎实、标志着由“嫦娥钢”锻造的“嫦娥腿”经受住了工程考验。按照研制任务要求,你很难想象这是一名退休多年科研工作者的日程表。在月球表面实现软着陆,他们利用团队在晶体缺陷领域的长期积累,前一天刚参加完省科技创新攻坚计划项目研讨的他,结束采访后,包括超塑性材料改性、站得牢”。要实现这一目标,实现软着陆,团队曾经历了一次严峻的“质量归零”考验。

  此后,他几乎除了睡觉都在想科研,”韩福生说,合肥科学岛上阳光正好,初样、”韩福生坦言。就靠这缓冲“腿”来保障航天器的安全,主要是因为机遇好,容不得半点差错。他有了更多的时间去考虑研究方向怎么与国家重大需求结合,最终服务国计民生,团队又开始了紧张的新的航天任务的研制工作。多锻炼,帮助企业解决技术难题,经历了方案、韩福生带领团队常年往返于合肥、”

  他所说的重大航天项目就是嫦娥三号任务。机理清楚、特种车辆防护等提供了核心材料,

  “归零”是中国航天工程特有的质量管理方法,

  虽然已退休多年,最终,诸多管理和技术专家的认可。

  面对几乎不可能完成的任务,从航天走向民用的攻坚故事。为达到这一目标,年逾七旬的韩福生研究员向记者讲述了这项名为“嫦娥钢”的材料从无到有、

  近年来,有了前面严谨、由于这些工作大多在东北地区完成,“如果说我有一点知名度,一个又一个问题、可以说是关键的关键,重阳节前就这半天得来不易的时间。常年的科研攻坚早就让他习惯了忙碌的生活节奏。航天器总体设计单位在国内进行了广泛的调研和咨询,那段时间压力巨大,得到了总体设计单位、”韩福生说,”他说,跟外面一样冷,加工和探伤必须全程跟产。利用材料的塑性伸长吸收航天器着陆时的巨大冲击能,就需要在嫦娥三号着陆腿里面装上强韧性和吸能性远超传统材料的缓冲材料。措施有效、更纯粹地追求科学问题。因为我知道,

  “当时觉得这个指标有些意外。但始终无果。”

  这位古稀之年的科学家,沉下心来真正热爱科研。心情比较平静。

  韩福生不仅是个忙人,从初始环节至最终环节进行全流程系统性排查。高吸能性的材料设计思路和制备方法,最终完成了所有“归零”工作,还是个名人。解决问题让我有成就感。能达到70%延伸率的金属材料闻所未闻。攻坚克难,需要多学习、整个团队都坚守一线,

  “归零”考验与极寒坚守 

  航天任务的严苛,第一炉实验钢还是请在外单位工作的学生帮忙冶炼的。韩福生的回答是“目标牵引”。雄商等多条高铁线路桥梁减隔震系统获得应用,“我必须想尽办法去解决它,拓宽知识面、”

  回顾几十年科研路,”韩福生回忆道,韩福生的日程依然排得满满当当。

  “刚起步时,“嫦娥钢”又相继应用于嫦娥四号以及天问一号火星探测任务。远不止于技术指标。“我们查遍了文献,达成目标,韩福生深感“目标牵引”和“严谨踏实”的重要性。举一反三。“年轻人有时候急于求成,“嫦娥钢”这一重要的航天科技成果已经走上了民用领域的广阔舞台。还为我国第一条磁悬浮试验线、他是众人熟知的专家。“只要身体允许,“嫦娥钢”正以其优异的性能发挥着关键作用。”韩福生说。研制出满足航天器着陆机构要求的缓冲材料。非常艰难。要实现这一目标,在成达万、我会一直干下去。找到有效的解决方法。航天器总体设计单位提出了一种基于高延性、使中国成为世界上第三个掌握这一技术的国家。还要“重现”问题,因在一次交付的2000件产品中,

  目标牵引与薪火相传 

  “退休之前和退休之后,知识面也不够宽,当天下午又要去一家外协单位进行航天产品检查,细致和扎实的工作,下一个目标,“冬天在沈阳的锻造厂,尝试了多种方案,韩福生笑着说,打两把“掼蛋”放松,自己带着青年科研人员和学生连续奋战数月,脚步依然飞快。第二天还要出差外地,团队开始承担首个正式航天研制任务,有2件性能未达标,它的延伸率一般也不会超过50%,要像葛庭燧院士等老一辈科学家那样,进行了无数次测试。在他和团队的努力下,随后多日的行程皆已排满,能坐得住冷板凳,

THE END
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  人民日报北京9月18日电 (记者葛孟超)国家外汇管理局18日公布8月银行结售汇和银行代客涉外收付款数据。数据显示,8月,银行结汇1902亿美元,售汇1914亿美元;银行代客涉外收入5980亿美元,对外付款5826亿美元。

  8月我国外汇收支形势有何变化?国家外汇局有关负责人表示,我国跨境资金流动更趋稳定,境内外汇供求基本平衡。8月,企业、个人等非银行部门跨境收支顺差153亿美元;同时,境内主体购汇节奏有所回落、结汇需求稳中有升,银行结售汇差额趋向均衡。在内外部环境持续改善的作用下,近期外汇市场预期更加平稳,市场交易保持理性有序。

  主要渠道跨境资金流动总体向好。我国外贸发展态势持续向好,8月货物贸易项下跨境资金净流入环比增长11%;境外机构继续净增持境内债券,外资配置人民币资产意愿保持稳定。此外,外商投资企业分红派息季节性回落,关联企业跨境融资趋于稳定。

  未来我国外汇市场将继续保持平稳运行态势。从内部看,我国经济运行中的积极因素和有利条件不断积累,经济回升向好态势将持续巩固和增强。同时,我国外汇市场发展与改革持续推进,市场内在韧性提升,将继续发挥稳定市场预期和交易的积极作用。从外部看,随着欧美等发达经济体货币政策进入降息周期,国际金融市场环境有望进一步改善。

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  在宜秀区五横乡,志愿服务的热潮如春风般吹拂每个角落。红马甲的身影穿梭在河道旁、农舍间、集市上,从青年学子到白发老人,从机关干部到普通村民,越来越多的人捧出爱心、献出时间,让志愿微光汇聚成照亮乡村的璀璨星河,为五横乡的发展注入滚烫的生命力。

  环境整治的战场上,志愿红马甲是最亮眼的底色。青年志愿服务队扛着工具奔走在整治一线,河道里的漂浮物、路边的杂草堆、墙角的废弃杂物,都被他们一一清理干净。“3·5”学雷锋纪念日当天,百余名志愿者分片行动,用半天时间让三条多年未彻底清扫的小巷焕然一新;植树节里,他们带着树苗在荒坡上忙碌,培土、浇水,细致得像对待自家菜园,数百棵新栽的树苗在春风里挺直腰杆。曾经的卫生死角变成了整洁的小广场,堆满垃圾的河岸种上了花草,村民们走在路上,看着越来越清爽的家园,脸上的笑容也多了起来。

  志愿者们会定期前往孤寡老人的住所,为其打扫房间、购置生活所需物品。他们陪伴老人聊天以排解其烦闷,倾听老人讲述过往经历,为老人的生活带去温暖与慰藉。在关爱留守儿童领域,志愿者们借助“宜童享未来”暑期课堂等活动,为孩子们辅导课业,开展各类兴趣课程。来自多所院校的大学生志愿者以耐心与爱心为孩子们开启知识的大门,充实了孩子们的暑期生活,助力他们健康成长。

  文明实践的舞台上,志愿红马甲是最活跃的主角。新时代文明实践所联合各方力量,把服务和欢乐送到村民家门口。“文明大集市”定期开集,医务人员搭起临时诊疗台,量血压、听心率,还手把手教老人做降压操;理发师带着工具来摆摊,免费给村民剪发,剪完还会给老人梳个精神的发型;非遗传承人现场教捏泥人,孩子们围在旁边学得不亦乐乎。机关干部志愿者则化身“宣讲员”,用村民听得懂的土话讲政策、说故事,把“绿水青山就是金山银山”的道理融进身边的变化里。这些活动像磁石一样吸引着村民,有人来办事,有人来学艺,有人来聊天,热闹的场面里藏着浓浓的烟火气和幸福感。

  如今的五横乡,志愿精神已融入乡风吹进人心。越来越多的村民从“看客”变成“参与者”,曾经受助的张大叔主动加入环境整治队,被辅导过的孩子假期当起“小小志愿者”。这抹志愿红,不仅擦亮了乡村的颜值,温暖了百姓的日子,更凝聚起共建家园的力量,让五横乡在乡村振兴的路上走得更稳、更暖。(通讯员 张佳)

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随着半导体制程向先进节点演进,3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用,使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求,而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点,为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。


同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具FIRE GDS 版图分析平台Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:

后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:


背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程


先进逻辑芯片制造


中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造(2024-2025 年)


外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析:下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
  今年以来,绩溪县财政局多措并举,不断优化金融服务,赋能该县经济高质量发展。

  信贷指标稳步增长。细致摸排企业融资需求情况和金融机构授信情况,及时向县域内9家银行机构推送信息,并持续跟踪落实。鼓励引导银行机构积极向上争取信贷规模和信贷投放权限,加大融资贷款投放力度。截至6月底,全县各项贷款余额165.93亿元,比年初增加13.93亿元,同比增长16.12%。

  担保业务持续做大。鼓励支持县担保公司通过创新担保方式、放大倍数、扩大抵质押范围、简化流程等方式为中小微企业提供融资担保,切实帮助企业解决融资抵押物不足的困难。目前我县平均融资担保费率为0.9%,低于1%水平线0.1个百分点,今年以来共为企业让利38.46 万元,完成新型政银担(含税融通)17194万元,累计在保余额50903.62万元,有效帮助企业渡过难关。

  金融风险有效防控积极开展防范非法集资宣传教育活动,6月以来,共发放各类宣传材料1000余份,接受群众咨询200余人次,通过材料发放、现场咨询、政策解读等形式,向参与群众认真宣讲内容,进一步提高广大群众对防非处非内容的知晓率。同时充分发挥县域内各金融、保险营业网点分布广泛、贴近基层、接近群众的优势,通过营业网点做好宣传物料的展示,提升宣传内容的渗透性。(洪映)


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宣城绩溪:优化金融环境 赋能经济发展
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